隨著人們(men)對生(sheng)活(huo)品(pin)(pin)質的(de)提高(gao)，對其生(sheng)產(chan)品(pin)(pin)質的(de)要(yao)(yao)求也越來越嚴格。電子廠與其他(ta)行業在(zai)無(wu)塵車(che)間的(de)建(jian)設規劃(hua)時在(zai)于主(zhu)要(yao)(yao)對靜電的(de)控制：高(gao)濕(shi)度實際上減小了無(wu)塵車(che)間、潔凈室表面的(de)靜電荷積累(lei)──這是大家希望的(de)結果。較(jiao)低的(de)濕(shi)度比(bi)較(jiao)適(shi)合(he)電荷的(de)積累(lei)并(bing)成為潛在(zai)的(de)具有破壞性的(de)靜電釋放源(yuan)。
當(dang)相對(dui)濕(shi)度超(chao)過50%時，靜電荷開始迅速消散，但是當(dang)相對(dui)濕(shi)度小于30%時，它(ta)們(men)可以在絕緣體或者未接地的表面(mian)上持續(xu)存在很長一段(duan)時間。
相對濕(shi)度(du)在(zai)35%到40%之間(jian)可(ke)以作為一(yi)個令人滿意(yi)的(de)(de)(de)(de)折中(zhong)，半導體無塵車(che)間(jian)、潔凈(jing)室一(yi)般都使用額外的(de)(de)(de)(de)控(kong)制裝置(zhi)以限制靜電荷的(de)(de)(de)(de)積(ji)累。很(hen)多化學反(fan)(fan)應(ying)的(de)(de)(de)(de)速度(du)，包括腐蝕過程(cheng)，將隨著(zhu)相對濕(shi)度(du)的(de)(de)(de)(de)增高(gao)(gao)而(er)加(jia)快。所有暴露在(zai)無塵車(che)間(jian)、潔凈(jing)室周圍空氣中(zhong)的(de)(de)(de)(de)表(biao)面(mian)都很(hen)快地被覆蓋上至少一(yi)層單分(fen)子層的(de)(de)(de)(de)水(shui)。當這些表(biao)面(mian)是(shi)由可(ke)以與水(shui)反(fan)(fan)應(ying)的(de)(de)(de)(de)薄金(jin)屬涂層組(zu)成時，高(gao)(gao)濕(shi)度(du)可(ke)以使反(fan)(fan)應(ying)加(jia)速。幸(xing)運的(de)(de)(de)(de)是(shi)，一(yi)些金(jin)屬，例如鋁，可(ke)以與水(shui)形成一(yi)層保(bao)護型的(de)(de)(de)(de)氧化物(wu)，并阻止進一(yi)步的(de)(de)(de)(de)氧化反(fan)(fan)應(ying);但另一(yi)種情況是(shi)，例如氧化銅(tong)，是(shi)不(bu)具有保(bao)護能力(li)的(de)(de)(de)(de)，因此，在(zai)高(gao)(gao)濕(shi)度(du)的(de)(de)(de)(de)環境中(zhong)，銅(tong)制表(biao)面(mian)更(geng)容易(yi)受到腐蝕。
總結電子行(xing)業無塵車間溫濕度的控制主要(yao)在于其生產工藝的要(yao)求：下面我們舉例說明(ming)：
舉例一)
在(zai)精密(mi)機械加工(gong)和計量等場(chang)合，為(wei)了防(fang)止因(yin)熱膨(peng)脹而(er)引(yin)起(qi)的(de)誤差(cha)，必須使工(gong)件(jian)保(bao)持一定的(de)溫度(du)(du)。工(gong)件(jian)溫度(du)(du)的(de)允(yun)許波動幅度(du)(du)應根據(ju)加工(gong)精度(du)(du)決(jue)定。例如(ru)，在(zai)恒(heng)溫室里(li)對(dui)一根長(chang)500mm的(de)標準尺(chi)刻線，工(gong)藝(yi)允(yun)許線間公差(cha)為(wei)2um，其(qi)中lum為(wei)尺(chi)溫變(bian)化所引(yin)起(qi)的(de)形變(bian)誤差(cha)，另1um為(wei)加工(gong)與(yu)量測誤差(cha)。1um折(zhe)合尺(chi)溫變(bian)化量＝0.20C[a為(wei)尺(chi)線膨(peng)脹系數(shu)，取10／um／(m?K)；l為(wei)尺(chi)長(chang)，m]，故工(gong)件(jian)溫度(du)(du)變(bian)化需在(zai)以內。
但由于(yu)工(gong)(gong)件測量儀器等都有一定的(de)熱惰(duo)性，空氣(qi)溫(wen)度的(de)波動傳人工(gong)(gong)件后，就要衰(shuai)減。在設計恒溫(wen)系統時，一般總是以恒定環(huan)境空氣(qi)溫(wen)度為(wei)依據(ju)，故相應的(de)環(huan)境溫(wen)度精度可比工(gong)(gong)件允許的(de)溫(wen)度精度低一些。因此，在確定恒溫(wen)室參數和(he)選擇自(zi)動控制時，必(bi)須考慮工(gong)(gong)件恒溫(wen)恒濕車間、圍護結構、空氣(qi)處理設備和(he)自(zi)控系統之間的(de)動態特性。
舉例二）
在(zai)電(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)行(xing)業(ye)制(zhi)造(zao)(zao)車間(jian)是最重要產生(sheng)靜(jing)電(dian)(dian)(dian)的(de)(de)(de)地方，通常(chang)(chang)靜(jing)電(dian)(dian)(dian)會對產品造(zao)(zao)成短路(lu)甚(shen)至會造(zao)(zao)成員工導電(dian)(dian)(dian)暈倒事故，所以(yi)電(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)行(xing)業(ye)的(de)(de)(de)無(wu)(wu)塵(chen)車間(jian)相(xiang)(xiang)對濕度不(bu)應低于30%，這樣(yang)即可(ke)以(yi)減少靜(jing)電(dian)(dian)(dian)的(de)(de)(de)產生(sheng)，通常(chang)(chang)建議無(wu)(wu)塵(chen)車間(jian)的(de)(de)(de)防靜(jing)電(dian)(dian)(dian)區域(yu)相(xiang)(xiang)對濕度不(bu)低于50%。過于干燥的(de)(de)(de)空氣中易粉(fen)塵(chen)飛(fei)揚，電(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)廠無(wu)(wu)塵(chen)車間(jian)無(wu)(wu)特殊要求的(de)(de)(de)情況下，溫度控制(zhi)在(zai)22℃左(zuo)右，相(xiang)(xiang)對濕度控制(zhi)在(zai)55～60%RH之(zhi)間(jian)，在(zai)這種環境下，人們(men)感覺舒適，靜(jing)電(dian)(dian)(dian)也消失了。
舉例三）
SMT車(che)間(jian)對溫(wen)度和濕度有明確的要求
首先(xian)主要是為了錫膏能工作在一(yi)個較(jiao)好的(de)(de)環(huan)境(jing)，溫(wen)(wen)度(du)(du)會影(ying)響(xiang)錫膏的(de)(de)活(huo)性(xing)，對(dui)于里面所添加(jia)的(de)(de)助(zhu)焊(han)劑(ji)的(de)(de)相(xiang)關溶劑(ji)的(de)(de)活(huo)性(xing)有一(yi)定的(de)(de)影(ying)響(xiang)。溫(wen)(wen)度(du)(du)高(gao)會增加(jia)其(qi)的(de)(de)活(huo)性(xing)，最終影(ying)響(xiang)絲印貼(tie)裝及回(hui)流的(de)(de)效(xiao)果。容易出(chu)現(xian)虛焊(han)，焊(han)點不光澤等現(xian)象(xiang)。濕(shi)(shi)度(du)(du)的(de)(de)大小回(hui)引起錫膏在空氣中(zhong)吸入(ru)水(shui)氣的(de)(de)多少，如(ru)過吸如(ru)過多水(shui)氣，會使回(hui)流時產(chan)生氣空，飛漸(jian)，連(lian)焊(han)等現(xian)象(xiang)。故SMT恒(heng)溫(wen)(wen)恒(heng)濕(shi)(shi)車間溫(wen)(wen)濕(shi)(shi)度(du)(du)標準(zhun):溫(wen)(wen)度(du)(du):24±2℃濕(shi)(shi)度(du)(du):50±10%。
舉例四）
在大(da)規模集成電(dian)路(lu)生產(chan)的(de)光刻曝光工藝(yi)中(zhong)，作為掩(yan)膜(mo)板材(cai)料的(de)玻璃與硅片的(de)熱膨脹系數的(de)差要求(qiu)越來(lai)越小。直徑100um的(de)硅片，溫度(du)上升(sheng)1度(du)，就引(yin)起了0.24um線性膨脹，所以(yi)必須有±0.1度(du)的(de)恒溫，同(tong)時(shi)要求(qiu)濕度(du)值一般較低，因為人出(chu)汗以(yi)后，對(dui)產(chan)品(pin)將(jiang)有污染，特別是怕鈉(na)的(de)半導體車(che)間，這(zhe)種車(che)間不宜超過25度(du)。濕度(du)過高產(chan)生的(de)問題更多(duo)。相對(dui)濕度(du)超過55%時(shi)，冷(leng)卻水管壁(bi)上會(hui)結露，如果發生在精密裝置或電(dian)路(lu)中(zhong)，就會(hui)引(yin)起各種事(shi)故。相對(dui)濕度(du)在50%時(shi)易生銹(xiu)。
所(suo)以無塵(chen)車間(jian)的(de)溫濕(shi)(shi)度(du)(du)控制(zhi)由其(qi)生產(chan)工(gong)藝決(jue)(jue)定，但其(qi)精(jing)(jing)(jing)度(du)(du)同時也要(yao)看其(qi)房間(jian)的(de)大小例如計量室、光柵刻線室、精(jing)(jing)(jing)密(mi)儀器制(zhi)造和裝配車間(jian)等。前兩(liang)(liang)者都為(wei)小房間(jian)，空調精(jing)(jing)(jing)度(du)(du)(這(zhe)里主(zhu)要(yao)指溫濕(shi)(shi)度(du)(du))要(yao)求(qiu)高；后(hou)兩(liang)(liang)者為(wei)較大的(de)生產(chan)車間(jian)，溫濕(shi)(shi)精(jing)(jing)(jing)度(du)(du)要(yao)求(qiu)較低。所(suo)以其(qi)房間(jian)大小也會決(jue)(jue)定恒溫恒濕(shi)(shi)車間(jian)的(de)精(jing)(jing)(jing)度(du)(du)。